由于臭氧極不穩定，因此只能就地，制造臭氧的方法有很多種。其中經濟的大規模方法是采用電暈放電法—將空氣或氧氣通入放電管，在電暈放電的作用下氧原子重新組合成臭氧。該工藝具有結構簡單、性能可靠、運行費用低及調節靈活等優點，可一機多用。一般評價一個臭氧發生器基本的指標是：臭氧發生方式、臭氧產量、臭氧濃度、控制方式可靠性、使用壽命等。

2．臭氧發生器的安裝

臭氧發生器安裝位置常有以下幾種方法

分體或移動式放在單獨房間內；

組裝在空調機組中；

在總送風管道內；

在總回風管道內；

單獨設置，只將排氣口插入送（回）風管道。

3．臭氧發生器的能力選用計算

利用臭氧消毒需有合適的濃度，濃度低達不到效果，濃度高造成資源浪費，現以包括四套凈化系統的某工廠為例進行說明。